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MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
傳感器特點
本品采用MEMS工藝，結構堅固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點
主要應用
適用于室內空氣質量監(jiān)測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。
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